继电器是真空系统自动控制的关键部件，是真空应用和真空获取设备最常用的附件之一。它能可靠、准确地直接设定和控制真空系统(真空空间、容器或管道)的真空度，以满足真空应用过程的特定要求。
真空继电器的分类:
①排气结构，共同特点是有排气管，需要通过真空排气台排气。如图所示，衔铁动作机构位于真空系统内部。通过控制流过线圈的电流产生的电磁力使置于真空中的铰链衔铁动作，带动动触头动作，完成分闸或合闸动作。
(2)膜片结构，特点是通过真空焊接炉直接获得真空系统，衔铁机构位于真空室外部，衔铁的运动通过弹性密封膜片传递到真空室内部。低，分断速度快，触点密封，不受环境气压、水分、灰尘或爆炸性气体的影响，适合在恶劣环境下工作。
真空继电器的性能:
1.真空继电器是将触头置于抽高真空的玻璃外壳或陶瓷外壳中，以真空作为灭弧和绝缘介质的继电器。
2.真空具有理想的绝缘性能，在理想状态下可能达到80000V/mm的介电常数。因为真空中没有氧气，所以在使用过程中不会被氧化。这样，真空继电器在使用过程中具有小而稳定的接触电阻。
3.真空具有良好的灭弧性能。真空中的电弧容易传播，不易造成触头磨损，因此真空继电器具有寿命长的特点，可配有负荷开关。一般来说，真空继电器具有耐击穿电压高、灭弧速度快、开断电流大、体积小、重量轻、使用寿命长等特点。广泛应用于起搏器、核磁共振成像、高频天线耦合器件、雷达、电容放电等领域。
4.电阻高，额定载流和开关电流大，接触电阻小，运行稳定，噪音低，电极间分布电容和电感小，触点间距小，励磁功率低，分断速度快，触点密封，不受环境气压、水分、灰尘或爆炸性气体的影响，适合在恶劣环境下工作。
