一、过电流的保护
固态继电器是以半导体开关器件作为功率输出部件的对温度的变化较为敏感，过电流会使半导体芯片过热而造成品质下降，寿命降低甚至永久性损坏。虽然
固态继电器在瞬间可以接受额定电流10倍以上的浪涌电流，但逾越此值很容易造成永久性损坏。因而，过电流的保护是很重要的过电流的保护方法很多，关键在于反映速度要快。
二、过电压的保护
当负载为感性或容性时，很可能发生大于固态继电器所能承受的瞬态电压和电压上升率。若保护措施不当或响应不灵敏，不只会造成固态继电器失控，严重时还可能烧毁固态继电器或设备。因此，过电压的保护是必需的普遍的应用是外加瞬态抑制（RC吸收）电路和电压钳位电路（双向稳压二极管、压敏电阻）。
三、过热保护
如固态继电器过热，轻则失控，重则造成永久性损坏，建议加装过热保护措施，通常的做法是保证固态继电器的底板处温度不超过75-80℃一般的温度保护电路就可以达到目的比较经济实惠的散热器上靠近SSR底板处装置温控开关，温升达到限定温度时切断SSR输入信号。
固态继电器工作时，其内部芯片上存在一定的功率损耗，这个损耗功率主要由固态继电器输出电压降与负载电流乘积决定，以发热的形式消耗掉。因此散热的好坏直接影响到固态继电器工作的可靠性，优良的热学设计可防止由于散热不良造成的失败和损坏。
一般而言，负载电流小于5A 固态继电器，利用空气对流散热即可。要求装置在有良好对流环境、两个固态继电器间距离大于一个固态继电器的宽度。电流大于10A 固态继电器应加装散热器，对于负载电流大于40A 固态继电器，根据设计体积大小，必要时要使用风冷或水冷。
